low-pressure chemical vapour deposition

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• Chemical Vapour Deposition — Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapor deposition, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt werden.… …   Deutsch Wikipedia

• Chemical vapour deposition — Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapor deposition, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt werden.… …   Deutsch Wikipedia

• Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition — Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition, PECVD or sometimes PCVD, is the process by which chemicals are deposited onto a substrate using a Radio Frequency (RF) Plasma to split the precursors into active ions.TheoryPrecursor chemical enter the… …   Wikipedia

• Chemical vapor deposition — Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapor deposition, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt werden.… …   Deutsch Wikipedia

• Combustion chemical vapor deposition — (CCVD) is a chemical process by which thin film coatings are deposited onto substrates in the open atmosphere. Contents 1 History 2 Principles and procedure 3 Remote combustion chemical v …   Wikipedia

• Electron beam induced deposition — (EBID) is a process of decomposing gaseous molecules by electron beam leading to deposition of non volatile fragments onto a nearby substrate. Process Focused electron beam of scanning electron microscope (SEM) or scanning transmission electron… …   Wikipedia

• chemical element — Introduction also called  element,         any substance that cannot be decomposed into simpler substances by ordinary chemical processes. Elements are the fundamental materials of which all matter is composed.       This article considers the… …   Universalium

• Polycrystalline silicon — Polycrystalline silicon, also called polysilicon, is a material consisting of small silicon crystals. It differs from single crystal silicon, used for electronics and solar cells, and from amorphous silicon, used for thin film devices and solar… …   Wikipedia

• Chemische Gasphasenabscheidung — Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapour deposition, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen und… …   Deutsch Wikipedia

• Slot-waveguide — A slot waveguide is an optical waveguide that guides strongly confined light in a subwavelength scale low refractive index region by total internal reflection.A slot waveguide consists of two strips or slabs of high refractive index (nH)… …   Wikipedia

• Crystalline silicon — is a material consisting of one or more small silicon crystals. Polycrystalline silicon Polycrystalline silicon (or polysilicon, poly Si, or simply poly in context) is a material consisting of multiple small silicon crystals.Polycrystalline… …   Wikipedia